Основные типы вакуумных датчиков
Вакуумметры можно разделить на две основные группы: механические и электронные. Механические датчики, в свою очередь, подразделяются на манометры Мак-Леода, Пирани, тепловые и емкостные. Электронные датчики включают в себя ионизационные, магнитные, полупроводниковые и криогенные.
Манометры Мак-Леода и Пирани
Манометры Мак-Леода основаны на измерении скорости падения давления в закрытом объеме, заполненным известным количеством газа. Они используются для измерения давления в диапазоне от 100 до 10-7 мбар. Манометры Пирани измеряют давление по температуре нити, которая изменяется при изменении давления. Они работают в диапазоне от атмосферного давления до 1 мбар и используются для измерения среднего вакуума.
Тепловые вакуумметры
Тепловые датчики измеряют температуру нити накала, которая охлаждается при падении давления. Это позволяет определить давление в диапазоне от 0,1 до 10 мбар. Емкостные вакуумметры основаны на изменении емкости конденсатора при изменении расстояния между его пластинами, вызванным изменением давления. Они применяются для измерения высокого вакуума в диапазоне от 1 до 10^-5 мбар.
Ионизационные, магнитные и полупроводниковые датчики
Ионизация основана на измерении тока, возникающего при ионизации молекул газа в вакууме. Ионизационные датчики работают в широком диапазоне давлений от 10^6 до 10^-12 мбар. Магнитные датчики работают на основе измерения силы, с которой магнитное поле действует на движущиеся заряженные частицы. Они применяются в диапазоне давлений от атмосферного до 10^-8 мбар. Полупроводниковые датчики основаны на изменении сопротивления полупроводникового материала при изменении его ионизации. Они предназначены для измерения низкого вакуума от 10 до 0.001 мбар.
Выбор вакуумного датчика
При выборе вакуумного датчика необходимо учитывать следующие факторы:
Диапазон давлений: выберите датчик, который может измерять давление в нужном вам диапазоне.
Точность и стабильность: убедитесь, что выбранный датчик обеспечивает необходимую точность измерения и стабильность показаний.
Условия эксплуатации: учитывайте условия эксплуатации датчика, такие как температура, влажность и вибрации.
Совместимость с системой: убедитесь, что датчик совместим с вашей вакуумной системой и может быть легко интегрирован.
Цена и доступность: выбирайте датчик, который соответствует вашим требованиям и бюджету.
Правильный выбор вакуумного датчика является ключевым фактором для обеспечения надежной и эффективной работы вакуумной системы. Учитывайте основные типы датчиков, их особенности и применение, чтобы выбрать подходящий вариант, соответствующий вашим потребностям и задачам.